转自:金融界
本文源自:金融界
专利摘要显示,本发明提供了一种激光掺杂方法及TOPCon太阳能电池,激光掺杂方法包括控制激光参数,利用激光对所述硅衬底表面的预设区域进行选择性激光掺杂。通过调节激光参数对温度场进行控制,在不破坏硅衬底表面微结构的前提下进行硼扩散,既能对杂质扩散曲线进行控制,又可通过改变激光参数提升产率,同时满足工艺性能和产率的需求。
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专利摘要显示,本发明提供了一种激光掺杂方法及TOPCon太阳能电池,激光掺杂方法包括控制激光参数,利用激光对所述硅衬底表面的预设区域进行选择性激光掺杂。通过调节激光参数对温度场进行控制,在不破坏硅衬底表面微结构的前提下进行硼扩散,既能对杂质扩散曲线进行控制,又可通过改变激光参数提升产率,同时满足工艺性能和产率的需求。